小型真空等離子清洗機(jī)使用等離子進(jìn)行清洗，可以達(dá)到傳統(tǒng)清洗無法達(dá)到的水平。與激光清洗的直接光不同，等離子體的指向性不強(qiáng)，這使其能夠穿透表面的微孔和凹陷。高精度的時(shí)間和功率控制不會損壞基板表面并確保表面質(zhì)量。具有去除能力強(qiáng)、非接觸清洗、操作簡單、無二次污染等優(yōu)點(diǎn)。
小型真空等離子清洗機(jī)的操作步驟如下：
(1)打開電源，打開開關(guān)并按照說明進(jìn)行操作。首先，檢查與等離子清洗機(jī)相連的氮?dú)馄亢脱鯕馄窟B接是否正常，氣體是否充足。擰松氮?dú)鈿庠粗鏖y，將減壓閥的壓力調(diào)節(jié)至0.4巴左右，打開氣源開關(guān)；
(2)將要清潔的材料放在架子上。如果材料的尺寸太小，先把它們放在托盤上，然后放在架子上。關(guān)閉艙門。
(3)按控制面板上的“ENTER”鍵進(jìn)入調(diào)整，并選擇所需的進(jìn)氣口、功率和時(shí)間。
(4)選擇后，按“開始”開始。在近真空室中，射頻電源使氣體在高壓下發(fā)光，產(chǎn)生高能等離子體，轟擊材料表面，達(dá)到清潔效果。5%氬氣+95%氮?dú)獾慕M合發(fā)出粉紅色的光芒。
(5)之后，在打開艙門之前，等待外部氣體充滿機(jī)艙。如果車廂內(nèi)沒有充滿氣體，不要強(qiáng)行打開車門。打開腔室，取出清潔的樣品；再次放置樣品進(jìn)行清潔。為了清潔每個(gè)樣品，一次放置的樣品數(shù)量不應(yīng)太多。
(6)清洗完所有樣品后，關(guān)閉所有氣源開關(guān)和主閥，并關(guān)閉等離子清洗機(jī)房門。
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